次世代Si薄膜デバイスを目指した超巨大結晶粒形成法

• 松村 正清

書誌事項

タイトル別名

• ジ セダイ Si ハクマク デバイス オ メザシタ チョウキョダイ ケッショウリュウ ケイセイホウ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 100 (3), 1-6, 2000-04-13

  東京 : 電子情報通信学会

詳細情報

• CRID: 1520853835205340928
• NII論文ID: 110003310532
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 5391462
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5391462
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles