Al2O3/Si構造を用いた共鳴トンネルデバイスの形成

• 石田 誠

• 古字 芳明

• M. Shahjahan

書誌事項

タイトル別名

• Al2O3 Si コウゾウ オ モチイタ キョウメイ トンネル デバイス ノ ケイセイ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 101 (621), 59-64, 2002-01-29

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• ヘテロエピタキシャル成長
• 単結晶Al2O3
• シリコン薄膜
• Heteroepitaxial structure
• single-crystal-Al2O3
• silicon thin film
• resonance tunneling

詳細情報

• CRID: 1520009408882140416
• NII論文ID: 110003310988
• NII論文ID: 110003201542
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 6073468
• NDL書誌ID: 6073716
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6073468
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6073716
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles