BIT薄膜に及ぼす下部Pt電極の安定性

• 山口 正樹

• 山本 麻

• 佐藤 嘉國

Bibliographic Information

Other Title

• BIT ハクマク ニ オヨボス カブ Pt デンキョク ノ アンテイセイ
• 特集:シリコン関連材料の作製と評価
• トクシュウ シリコン カンレン ザイリョウ ノ サクセイ ト ヒョウカ

Journal

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 104 (510), 31-36, 2004-12-16

  東京 : 電子情報通信学会

Keywords

• 白金下部電極
• 熱的安定性
• 強誘電体薄膜
• MFMIS構造
• Platinum Bottom Electrode
• Thermal Stability
• Ferroelectric Thin Films
• MFMIS Structures

Details

• CRID: 1520290883894871040
• NII Article ID: 110003311193
• NII Book ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL BIB ID: 7222799
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7222799
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles