インバースモデルシステムの開発と二次元プロファイル抽出

• 小松原 弘毅

• 筒井 将史

• 和田 哲典

書誌事項

タイトル別名

• インバース モデル システム ノ カイハツ ト 2ジゲン プロファイル チュウシュツ
• 特集:プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般
• トクシュウ プロセス デバイス カイロ シミュレーション オヨビ イッパン

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 105 (310), 7-12, 2005-09-27

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• インバースモデル
• 不純物プロファイル抽出
• 最適化
• イオン抽出
• パラメータ抽出
• Inverse model
• Impurity profile extraction
• Optimize
• Ion implantation
• Parameter extraction

詳細情報

• CRID: 1520290882045608832
• NII論文ID: 110003295494
• NII論文ID: 110003311498
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 7482784
• NDL書誌ID: 7482717
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7482784
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7482717
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles