Al3Hf金属間化合物膜の結晶化過程と電気的特性

• 新海 聡子

• 柳沢 英人

• 川村 みどり

書誌事項

タイトル別名

• Al3Hf キンゾクカン カゴウブツ マク ノ ケッショウカ カテイ ト デン

収録刊行物

• 電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会 編

  電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会 編 80 (9), 309-311, 1997-09

  東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクス ソサイエティ

詳細情報

• CRID: 1520853835239293696
• NII論文ID: 110003314684
• NII書誌ID: AN10071294
• ISSN: 09151907
• NDL書誌ID: 4304021
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4304021
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles