キャラクタプロジェクション法のためのセルライブラリ開発手法

• 杉原 真

• 高田 大河

• 中村 健太

Bibliographic Information

Other Title

• キャラクタプロジェクションホウ ノ タメ ノ セルライブラリ カイハツ シュホウ

Journal

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 105 (352), 79-84, 2005-10-21

  東京 : 電子情報通信学会

Keywords

• キャラクタプロジェクション
• スループット
• 電子ビーム直描
• マスク描画
• Character Projection
• Cell Library
• Electron Beam Direct-Write
• Photomask

Details

• CRID: 1520009407586708352
• NII Article ID: 110003498356
• NII Article ID: 10017596664
• NII Article ID: 110003502619
• NII Article ID: 110002703940
• NII Article ID: 110003500122
• NII Book ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• ISSN: 09196072
• NDL BIB ID: 7704640
• NDL BIB ID: 7704916
• NDL BIB ID: 7703977
• NDL BIB ID: 7689437
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7704640
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7704916
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7703977
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7689437
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN