固体撮像素子用HARP薄膜

• 瀧口 吉郎

  日本放送協会放送技術研究所

• 大川 裕司

  日本放送協会放送技術研究所

• 宮川 和典

  日本放送協会放送技術研究所

• 小杉 美津男

  日本放送協会放送技術研究所

• 鈴木 四郎

  日本放送協会放送技術研究所

• 久保田 節

  日本放送協会放送技術研究所

• 加藤 務

  日本放送協会放送技術研究所

• 設楽 圭一

  日本放送協会放送技術研究所

• 谷岡 健吉

  日本放送協会放送技術研究所

• Park Wug-Dong

  Dongyang University

• 小林 昭

  浜松ホトニクス(株)

• 平井 忠明

  浜松ホトニクス(株)

書誌事項

タイトル別名

• Study of the Thin HARP Film for Solid-state imagers

抄録

高感度固体撮像素子を目指して、a-Seのアバランシェ増倍現象を利用したHARP光電変換膜とMOS型トランジスタからなる固体走査部とを多数のInの柱で接合した固体HARP撮像素子の研究が進められている。この固体撮像素子では走査回路の耐圧が60Vであることから、HARP膜の印加電圧が60V以下に、すなわち使用できる膜の厚さが制限される。そこで、この条件下においてもっとも良好な特性の得られるHARP膜の膜厚についての検討を行った。その結果、0.4μmの膜厚とすることで、印加電圧60Vにおいて目標とする4倍の増倍率を暗電流が抑制された状態で実現できることが明らかになった。また、HARP膜のさらなる感度向上を目的として、Te添加による光電変換効率の改善を検討し、シミュレーションと試作の両面からTe添加により緑色光に対する光電変換効率を従来の2倍以上に向上できることを確認した。

収録刊行物

• 映像情報メディア学会技術報告

  映像情報メディア学会技術報告 22.57 (0), 13-18, 1998

  一般社団法人 映像情報メディア学会

キーワード

• HARP
• アバランシェ増倍
• 分光感度
• 積層
• 固体撮像素子

詳細情報

• CRID: 1390001204524189056
• NII論文ID: 110003690158
• NII書誌ID: AN1059086X
• DOI: 10.11485/itetr.22.57.0_13
• ISSN: 24241970
• ISSN: 13426893
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可