25pB16p 磁場中混合プラズマからの基板入射イオンに及ぼす電極近傍回転電場の効果(ヘリカル/プラズマ応用)

• 出頭,学

  茨城大工

• 中森,秀隆

  茨城大工

• 佐藤,直幸

  茨城大工

• 田辺,利夫

  茨城大工

• 池畑,隆

  茨城大工

• 真瀬,寛

  茨城大工

書誌事項

タイトル別名

• Effect of Rotating Electric Field near Electrode on Ions Incident upon the substrate from Magnetized Misture Plasma

収録刊行物

• プラズマ・核融合学会年会予稿集

  プラズマ・核融合学会年会予稿集 130-, 1999-11-20

  プラズマ・核融合学会

詳細情報

• CRID: 1543950420026210560
• NII論文ID: 110003747014
• NII書誌ID: AN10117056
• Web Site: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10460043
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • NDL-Digital
  • CiNii Articles