材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展　　４．負イオンの生成および消滅過程

• 佐々木 浩一

  名古屋大学大学院工学研究科

• 河野 明廣

  名古屋大学先端技術共同研究センター

• 門田 清

  名古屋大学大学院工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Developments of Basic Researches on Fluorocarbon Plasmas for Material Processing. 4. Production and Loss Processes of Negative Ions.
• 負イオンの生成および消滅過程
• フ イオン ノ セイセイ オヨビ ショウメツ カテイ

抄録

Negative ions strongly affect the transport and chemical reactions in fluorocarbon plasmas. In this article, a review is given of elementary processes concerning negative ions in fluorocarbon plasmas. Typical behaviors of negative fluorine ions in low-density and high-density plasmas are briefly described.

収録刊行物

• プラズマ・核融合学会誌

  プラズマ・核融合学会誌 75 (7), 792-799, 1999

  社団法人 プラズマ・核融合学会

キーワード

• negative ion
• elementary process
• low-density plasma
• high-density plasma
• fluorocarbon gas

詳細情報

• CRID: 1390282681488644480
• NII論文ID: 110003827531
• NII書誌ID: AN10401672
• DOI: 10.1585/jspf.75.792
• COI: 1:CAS:528:DyaK1MXlslCgtrc%3D
• NDL書誌ID: 4785288
• ISSN: 09187928
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4785288
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/jspf/75/7/75_7_792/_pdf
• Web Site: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10453668
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • NDL-Digital
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可