InGaAsディテクタを用いたLSIエミッション裏面解析ツール (特集 LSI品質の保証のための提案)

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タイトル別名
  • Backside Emission Analysis Tools for LSI Diagnosis with InGaAs Detector (Special Survey Approach to LSI Quality Assurance)
  • InGaAsディテクタを用いたLSIエミッション裏面解析ツール
  • InGaAs ディテクタ オ モチイタ LSI エミッション リメン カイセキ ツール

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抄録

0.13μm以降の半導体デバイスの故障解析・早期検証において裏面からの解析が必須となってきている.エミッション裏面解析ツールEmiScope^[○!R]及びIREMは近い将来の45nmプロセスまで対応可能であり,裏面からのフォトンを高効率で収集することができる.

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