招待講演 Universal theory of workfunctions at metal/Hf-based high-k dielectrics interfaces--Guiding principles for gate metal selection

• 白石 賢二

• 赤坂 泰志

• 宮崎 誠一

Bibliographic Information

Other Title

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Journal

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 105 (541), 29-32, 2006-01-20

  東京 : 電子情報通信学会

Keywords

• 金属ゲート
• 有効仕事関数
• 界面dipole
• 金属誘起gap凖位
• metal gates
• effective workfunctions
• interface dipole
• MIGS

Details

• CRID: 1520290882167074688
• NII Article ID: 110004382125
• NII Book ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL BIB ID: 7813660
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/7813660
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7813660
• Text Lang: en
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles