27aPS-17 シリコン結晶中における酸素拡散の分子動力学シミュレーション(領域11,領域12合同ポスターセッション,領域11(統計力学,物性基礎論,応用数学,力学,流体物理))

• 森影 符貴

  阪大産研

• 須藤 孝一

  阪大産研

• 岩崎 裕

  阪大産研

書誌事項

タイトル別名

• 27aPS-17 Molecular Dynamics Simulation of Oxygen Diffusion in Silicon

収録刊行物

• 日本物理学会講演概要集

  日本物理学会講演概要集 60.1.2 (0), 322-, 2005

  一般社団法人 日本物理学会

詳細情報

• CRID: 1390282680977152128
• NII論文ID: 110004535372
• DOI: 10.11316/jpsgaiyo.60.1.2.0_322_2
• ISSN: 21890803
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles