キャラクタプロジェクション法における描画面積の最適化による描画時間の削減

• 杉原 真

• 高田 大河

• 中村 健太

書誌事項

タイトル別名

• キャラクタプロジェクションホウ ニ オケル ビョウガ メンセキ ノ サイテキカ ニ ヨル ビョウガ ジカン ノ サクゲン
• 組込技術とネットワークに関するワークショップETNET2006
• クミコミ ギジュツ ト ネットワーク ニ カンスル ワークショップ ETNET2006

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 105 (670), 13-18, 2006-03-17

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• キャラクタプロジェクション
• 電子ビーム直描
• フォトマスク開発
• スループット
• 可変整形ビーム
• character projection
• maskless lithography
• photomask development
• throughput
• variable shaped beam

詳細情報

• CRID: 1520290883704152832
• NII論文ID: 110004684252
• NII論文ID: 110004690660
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 7880211
• NDL書誌ID: 7880374
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7880211
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7880374
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN