透明材料内部の3次元レーザプロセシング

• 渡辺 歴

  産業技術総合研究所 光技術研究部門

• 伊東 一良

  大阪大学大学院 工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Three-dimensional Laser Processing in Transparent Materials
• トウメイ ザイリョウ ナイブ ノ 3ジゲン レーザプロセシング

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 72 (8), 947-950, 2006

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• femtosecond laser
• three-dimensional micromachining
• photonic device
• laser processing
• glass
• micro-fluidics
• tranparent material

詳細情報

• CRID: 1390282679773780224
• NII論文ID: 110004799004
• NII書誌ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.72.947
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• NDL書誌ID: 8058278
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8058278
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles