低比抵抗ITO薄膜形成に関わる界面テンプレート層の存在について

• 河野 昭彦

• 生地 文也

Bibliographic Information

Other Title

• テイヒ テイコウ ITO ハクマク ケイセイ ニ カカワル カイメン テンプレートソウ ノ ソンザイ ニ ツイテ

Journal

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 106 (227), 43-47, 2006-09-08

  東京 : 電子情報通信学会

Keywords

• プラズマスパッタリング
• ITO film
• Plasma sputtering

Details

• CRID: 1520290884311598208
• NII Article ID: 110004823600
• NII Article ID: 110004823326
• NII Book ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL BIB ID: 8081792
• NDL BIB ID: 8082337
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8081792
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8082337
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles