免震された精密生産施設のためのピエゾアクチュエータを用いた総合的アクティブ微振動制御システム

• 嶋崎 守

• 藤田 隆史

• 橋本 嘉之

書誌事項

タイトル別名

• メンシンサレタ セイミツ セイサン シセツ ノ タメ ノ ピエゾアクチュエータ オ モチイタ ソウゴウテキ アクティブ ビシンドウ セイギョ システム

収録刊行物

• 日本機械学会論文集. C編

  日本機械学会論文集. C編 72 (722), 3123-3130, 2006-10

  東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010

キーワード

• Vibration Control
• Microvibration
• Piezoelectric Actuator
• Model Matching Method
• Damping
• Modal Analysis
• Finite Element Method

詳細情報

• CRID: 1520009408365008640
• NII論文ID: 110004837599
• NII書誌ID: AN00187463
• ISSN: 03875024
• NDL書誌ID: 8555999
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8555999
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles