周期的に温度変動する熱源を用いた新しい流速測定方法とMEMS技術により作製した流速センサの特性

• 金岡 佳充

• 木村 繁男

• 木綿 隆弘

Bibliographic Information

Other Title

• シュウキテキ ニ オンド ヘンドウ スル ネツゲン オ モチイタ アタラシイ リュウソク ソクテイ ホウホウ ト MEMS ギジュツ ニ ヨリ サクセイ シタ リュウソク センサ ノ トクセイ

Journal

• 日本機械学会論文集. B編

  日本機械学会論文集. B編 72 (723), 2596-2603, 2006-11

  東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010

Keywords

• Flow Measurements
• Flowmeter
• Heat Conduction
• Micromachine
• MEMS
• Quasi-Steady State
• Convection
• Periodic Heating Method

Details

• CRID: 1520572358716501248
• NII Article ID: 110006148734
• NII Book ID: AN00187441
• ISSN: 03875016
• NDL BIB ID: 8590187
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8590187
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN