01aA09 Liフラックスを用いた2H-SiC結晶の液相成長(半導体バルク(2),第36回結晶成長国内会議)

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  • 01aA09 Growth of 2H-SiC crystals using Li flux(NCCG-36)

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抄録

2H-SiC is an attractive material in the field of high-power devices due to the excellent properties such as the energy band gap widest among all polytypes and so on. The growth of 2H-SiC crystals requires the flux with low melting point since 2H-SiC is more stable at low temperature. We succeeded the solution growth of 2H-SiC using Li flux.

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680873629312
  • NII論文ID
    110006208453
  • NII書誌ID
    AN00188386
  • DOI
    10.19009/jjacg.33.4_185
  • ISSN
    21878366
    03856275
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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