エリプソメトリー顕微鏡による潤滑分子膜の膜厚分布定量観測

• 福澤 健二

• 志牟田 太一

• 中田 旭

書誌事項

タイトル別名

• エリプソメトリー ケンビキョウ ニ ヨル ジュンカツ ブンシ マク ノ マクアツ ブンプ テイリョウ カンソク

収録刊行物

• 日本機械学会論文集. C編

  日本機械学会論文集. C編 70 (700), 3479-3483, 2004-12

  東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010

キーワード

• Magnetic Disk Drive
• Head-Disk Interface
• Lubricant Ellipsometry
• Visualization

詳細情報

• CRID: 1520853834212995968
• NII論文ID: 110006264174
• NII書誌ID: AN00187463
• ISSN: 03875024
• NDL書誌ID: 7203630
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7203630
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN