新しい光源による応力評価  2.シンクロトロン放射光による薄膜および微小部の応力測定

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タイトル別名
  • II : Residual Stress Measurements on Thin Films and Microscopic Area using Synchrotron Radiation
  • 講座 新しい光源による応力評価(2)シンクロトロン放射光による薄膜および微小部の応力測定
  • コウザ アタラシイ コウゲン ニ ヨル オウリョク ヒョウカ 2 シンクロトロン ホウシャコウ ニ ヨル ハクマク オヨビ ビショウブ ノ オウリョク ソクテイ

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収録刊行物

  • 材料

    材料 54 (6), 642-647, 2005

    公益社団法人 日本材料学会

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参考文献 (47)*注記

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