プラズマプロセスによるカーボンナノチューブ配向成長の現状と課題　　５．ＲＦプラズマＣＶＤによるカーボンナノウォールの配向成長

• 平松 美根男

  名城大学理工学部電気電子工学科

• 堀 勝

  名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻

書誌事項

タイトル別名

• Synthesis of Aligned Carbon Nanowalls Using Radio-Frequency Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
• RFプラズマCVDによるカーボンナノウォールの配向成長
• RF プラズマ CVD ニ ヨル カーボンナノウォール ノ ハイコウ セイチョウ

抄録

Carbon nanowalls, self-assembled two-dimensional carbon nanostructures standing vertically on the substrate, were fabricated using capacitively coupled, radio-frequency, fluorocarbon plasma-enhanced chemical vapor deposition assisted by H radical injection. The correlation between carbon nanowall growth and the fabrication conditions was investigated. The morphologies and growth rate of carbon nanowalls were dependent on the types of carbon source gases and the amount of H radicals injected. In addition, straight, aligned carbon nanowalls with regular spacing were fabricated by controlling the radical flow configuration.

収録刊行物

• プラズマ・核融合学会誌

  プラズマ・核融合学会誌 81 (9), 669-673, 2005

  社団法人 プラズマ・核融合学会

キーワード

• carbon nanowalls
• carbon nanostructure
• graphite
• plasma enhanced chemical vapor deposition
• H radical injection
• fluorocarbon

詳細情報

• CRID: 1390282681490902272
• NII論文ID: 110006281971
• NII書誌ID: AN10401672
• DOI: 10.1585/jspf.81.669
• NDL書誌ID: 7678050
• ISSN: 09187928
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/7678050
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7678050
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/jspf/81/9/81_9_669/_pdf
• Web Site: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10456025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
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• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可