小型SR光ビームラインを用いたPMMAの高アスペクト比X線リソグラフィーの検討

• 保坂 誠

• 張 延平

• 上野 洋

書誌事項

タイトル別名

• コガタ SR ヒカリ ビーム ライン オ モチイタ PMMA ノ コウ アスペ

収録刊行物

• 立命館大学理工学研究所紀要 = Memoirs of the Institute of Science & Engineering / 立命館大学理工学研究所 編

  立命館大学理工学研究所紀要 = Memoirs of the Institute of Science & Engineering / 立命館大学理工学研究所 編 (55), 155-162, 1996

  草津 : 立命館大学理工学研究所

詳細情報

• CRID: 1520290885150046720
• NII論文ID: 110006311770
• NII書誌ID: AN00250071
• ISSN: 03704254
• NDL書誌ID: 4182623
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4182623
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles