低コヒーレンス位相シフト干渉法を用いたナノ潤滑膜の三次元画像計測

• 張 賀東

• 三矢 保永

• 坂野 貴裕

Bibliographic Information

Other Title

• テイコヒーレンス イソウ シフト カンショウホウ オ モチイタ ナノ ジュンカツマク ノ 3ジゲン ガゾウ ケイソク
• Three-dimensional measurements of nanometer-thick lubricant films using low-coherence phase-shifting interferometry

Journal

• 日本機械学会論文集. C編

  日本機械学会論文集. C編 73 (730), 1862-1868, 2007-06

  東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010

Keywords

• Tribology
• Lubrication
• Optical Measurement
• Interferometry
• Phase Shift
• Low Coherence
• Three-Dimensional Measurement
• Nanometer Thickness

Details

• CRID: 1520572359118236160
• NII Article ID: 110006317510
• NII Book ID: AN00187463
• ISSN: 03875024
• NDL BIB ID: 8872001
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8872001
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN