Ge/High-k膜の界面反応に着目した電気特性の制御
Bibliographic Information
- Other Title
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- Ge High k マク ノ カイメン ハンノウ ニ チャクモクシタ デンキ トクセイ ノ セイギョ
- Significant improvement of electronic characteristics of High-k/Ge MIS capacitors by controlling interface reactions
- シリコン材料・デバイス
- シリコン ザイリョウ デバイス
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 107 (85), 85-90, 2007-06
東京 : 電子情報通信学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520572359255428864
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- NII Article ID
- 110006343333
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- NDL BIB ID
- 8805358
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
- KAKEN