熱電子励起プラズマスパッタ法による低比抵抗ITO膜形成とそのメカニズム

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タイトル別名
  • ネツ デンシ レイキ プラズマ スパッタホウ ニ ヨル テイヒ テイコウ ITOマク ケイセイ ト ソノ メカニズム
  • The growth mechanism of low-resistivity ITO films on the glass substrates by a hot-cathode plasma sputtering method
  • 電子デバイス
  • デンシ デバイス

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