半導体レーザ加熱処理による浅い接合形成

• 鮫島 俊之

• 佐野 直樹

• 内藤 勝男

書誌事項

タイトル別名

• ハンドウタイ レーザ カネツ ショリ ニ ヨル アサイ セツゴウ ケイセイ
• Shallow junction formed by semiconductor laser rapid heating
• シリコン材料・デバイス
• シリコン ザイリョウ デバイス

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 107 (388), 5-8, 2007-12-14

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• 活性化
• 拡散
• シート抵抗
• SIMS
• フリーキャリヤ
• activation
• diffusion
• sheet resistance
• free carrier

詳細情報

• CRID: 1520572358424806784
• NII論文ID: 110006549249
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 9329933
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9329933
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles