227 ナノファクトリーのための自立型ナノ加工・計測システムの開発(OS-6超精密加工)

• 稲垣 清紀

  立山マシン

• 森田 昇

  富山大

• 高野 登

  富山大

• 斉藤 潤二

  立山マシン

• 水村 峯夫

  シグマ光機

• 神田 一隆

  不二越

• 芦田 極

  産総研

• 小幡 勤

  富山工技セ

• 舟田 義則

  石川県工業試験場

書誌事項

タイトル別名

• 227 Development of Stand Alone Nano Machining and Measuring System for Nano Factory

抄録

In this study, we developed precision processing equipment that has processing mechanism by a shaper system and a milling system. Precision processing mechanism by a shaper system has an edge of a CVD diamond on the tip of a cantilever for frictional force microscopes (FFM). And precision milling mechanism has an edge of a pyramidal CVD diamond on the tip of a spindle. This equipment can do processing and the measurement in ranges from nanometers to micrometers. This report will introduce about the concept and mechanism of this equipment.

収録刊行物

• 生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会

  生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会 2006.6 (0), 243-244, 2006

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• Diamond AFM Cantilever
• Diamond Array Tool
• Precision Machining
• Nano Machining

詳細情報

• CRID: 1390282680877647232
• NII論文ID: 110006638989
• DOI: 10.1299/jsmemmt.2006.6.243
• ISSN: 24243094
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmemmt/2006.6/0/2006.6_243/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可