光放射圧を利用したナノCMMマイクロプローブ

• 高谷 裕浩

  大阪大学大学院工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Microprobe for the NanoCMM Based on Optical Radiation Pressure Control
• ヒカリ ホウシャアツ オ リヨウシタ ナノ CMM マイクロプローブ

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 74 (3), 230-234, 2008

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• nanoCMM
• microprobe
• vibration probingtechnique
• optical radiation pressure
• microparts

詳細情報

• CRID: 1390282679774524928
• NII論文ID: 110006647622
• NII書誌ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.74.230
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• NDL書誌ID: 9409453
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9409453
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles