810 弾性案内-電磁力駆動機構による超精密円弧運動制御のための基礎研究(OS11-2,オーガナイズドセッション:11 機械要素の高度化と精密機構の性能向上)

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  • 810 Ultra-precise Circular Motion Control on Positioning Mechanism Using Flexure Guide And Electromagnetic Actuator

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