マイクロ波光導電減衰法によるp型4H-SiCエピタキシャル膜の評価

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タイトル別名
  • マイクロハ ヒカリ ドウデン ゲンスイホウ ニ ヨル pガタ 4H SiC エピタキシャルマク ノ ヒョウカ
  • Characterization of epitaxial p-type 4H-SiC layers by the microwave photoconductivity decay method
  • 電子部品・材料
  • デンシ ブヒン ザイリョウ

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