22pPSA-6 Si(001)表面におけるTiシリサイド形成過程へのサーファクタント効果の検討(22pPSA 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))

• 山崎 紀明

  横国大院工

• 中山 史人

  横国大院工

• 大野 真也

  横国大院工

• 寅丸 雅光

  横国大院工

• 市川 雄一

  横国大院工

• 山崎 貴彦

  横国大院工

• 飯田 貴則

  横国大院工

• 佐藤 和成

  横国大院工

• 青木 健志

  横国大院工

• 西岡 広明

  横国大院工

• 首藤 健一

  横国大院工

• 田中 正俊

  横国大院工

• 奥田 太一

  東大物性研

• 原沢 あゆみ

  東大物性研

• 松田 巌

  東大物性研

• 柿崎 明人

  東大物性研

書誌事項

タイトル別名

• 22pPSA-6 Study of surfactant effects on titanium silicide formation on Si(001)

収録刊行物

• 日本物理学会講演概要集

  日本物理学会講演概要集 63.2.4 (0), 828-, 2008

  一般社団法人 日本物理学会

詳細情報

• CRID: 1390282680995276928
• NII論文ID: 110006985562
• DOI: 10.11316/jpsgaiyo.63.2.4.0_828_1
• ISSN: 21890803
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles