ナノ精度マイクロ機械加工の現状と将来

• 厨川 常元

  東北大学大学院工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Future Technologies of Nano-Precision Micro/Meso Mechanical Manufacturing

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 75 (1), 62-63, 2009

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• Mechanical Engineering

詳細情報

• CRID: 1390001204798016384
• NII論文ID: 110007028791
• NII書誌ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.75.62
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles