405 ピエゾステージを用いた純チタン薄膜の引張りと力学的性質評価法に関する検討(機械材料・材料加工III)

• 上森 一真

  岡山大院

• 多田 直哉

  岡山大自然

• 清水 一郎

  岡山大自然

• 多田 寛之

  岡山大院

書誌事項

タイトル別名

• 405 Tension of Pure Titanium Film by Piezo Stage and Evaluation Method of Its Mechanical Properties

収録刊行物

• 中国四国支部総会・講演会　講演論文集

  中国四国支部総会・講演会　講演論文集 2007.45 (0), 123-124, 2007

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• Tension
• Titanium Film
• Piezo Stage
• Mechanical Properties

詳細情報

• CRID: 1390001205860369792
• NII論文ID: 110007112384
• DOI: 10.1299/jsmecs.2007.45.123
• ISSN: 24242764
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmecs/2007.45/0/2007.45_123/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles