周期溝加工基板上への減圧HVPE法によるAlN成長と評価

• 片桐 佑介

• 奥浦 一輝

• 呉 潔君

書誌事項

タイトル別名

• シュウキコウ カコウ キバンジョウ エノ ゲンアツ HVPEホウ ニ ヨル AlN セイチョウ ト ヒョウカ
• Low-pressure HVPE growth and characterization of AlN on period-trench-patterned substrate
• 電子デバイス
• デンシ デバイス

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 108 (321), 65-70, 2008-11

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• AlN
• LP-HVPE

詳細情報

• CRID: 1520009407055352320
• NII論文ID: 110007127196
• NII論文ID: 110007098753
• NII論文ID: 110007098429
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 9737710
• NDL書誌ID: 9738726
• NDL書誌ID: 9738232
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9737710
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9738726
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I9738232
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles