26aB05 サファイア除去基板を用いたGaN単結晶育成(窒化物(1),第34回結晶成長国内会議)

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タイトル別名
  • 26aB05 The growth of GaN single crystals on sapphire-free substrate(NCCG-34)

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抄録

Up to now, GaN single crystal has been grown on MOCVD-GaN substrate with sapphire substrate. However, sapphire substrate introduces stresses on GaN during the growth period. Therefore we removed a sapphire from GaN single crystals which had been grown in the Na flux and tried the homo-epitaxial growth on GaN substrate without sapphire.

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680875041664
  • NII論文ID
    110007327450
  • NII書誌ID
    AN00188386
  • DOI
    10.19009/jjacg.31.3_208
  • ISSN
    21878366
    03856275
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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