メチルBCN膜のRFバイアスによる膜質依存性

• 増住 拓朗

• 原 誠

• 青木 秀充

Bibliographic Information

Other Title

• メチル BCN マク ノ RF バイアス ニ ヨル マクシツ イソンセイ
• Dependence of characteristics of methyl-BCN film on RF bias
• 電子デバイス
• デンシ デバイス

Journal

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 109 (81), 15-20, 2009-06

  東京 : 電子情報通信学会

Keywords

• BCN
• 低誘電率膜
• 炭化ホウ素窒素
• メチル
• 配線
• LSI
• low-k
• boron carbon nitride
• methyl
• interconnection

Details

• CRID: 1520009408390659072
• NII Article ID: 110007338322
• NII Book ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL BIB ID: 10274891
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10274891
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN