Nanoscale Servo System Based on Multirate Control(<Special Issue>Control Theories and Applications in Nano and Micro Technologies)

• FUJIMOTO Hiroshi

  横浜国立大学大学院工学研究院

Bibliographic Information

Other Title

• マルチレート制御によるナノスケールサーボ(<特集>ナノ・マイクロテクノロジーの制御理論と応用)
• マルチレート制御によるナノスケールサーボ
• マルチレート セイギョ ニ ヨル ナノスケールサーボ

Journal

• SYSTEMS, CONTROL AND INFORMATION

  SYSTEMS, CONTROL AND INFORMATION 53 (6), 230-235, 2009

  THE INSTITUTE OF SYSTEMS, CONTROL AND INFORMATION ENGINEERS

Keywords

• nanoscale servo
• multirate control
• hard disk drive
• positioning stage
• AFM

Details

• CRID: 1390282679278901248
• NII Article ID: 110007338394
• NII Book ID: AN10062329
• DOI: 10.11509/isciesci.53.6_230
• ISSN: 24241806
• ISSN: 09161600
• NDL BIB ID: 10246517
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10246517
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles