原子状水素照射によるダイヤモンドライクカーボン膜の化学結合状態の変化

• 遲澤 遼一

• 中澤 日出樹

• 奥崎 知秀

書誌事項

タイトル別名

• ゲンシジョウ スイソ ショウシャ ニ ヨル ダイヤモンドライクカーボン マク ノ カガク ケツゴウ ジョウタイ ノ ヘンカ
• Changes in chemical bonding states of diamond-like carbon films by atomic hydrogen irradiation
• 電子部品・材料
• デンシ ブヒン ザイリョウ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 109 (171), 19-24, 2009-08

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• ダイヤモンドライクカーボン
• 光電子分光法
• 原子状水素
• Diamond-like carbon
• Photoelectron spectroscopy
• Atomic hydrogen

詳細情報

• CRID: 1520290882485995648
• NII論文ID: 110007359260
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 10350104
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/10350104
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10350104
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN