マイクロ波励起表面波プラズマ半導体処理装置におけるマイクロ波とプラズマの自己無撞着解析に関する検討

• 西川 崇之

• 畑口 雅人

• 松岡 俊佑

Bibliographic Information

Other Title

• マイクロハレイキヒョウメンハ プラズマ ハンドウタイ ショリ ソウチ ニ オケル マイクロハ ト プラズマ ノ ジコ ムドウチャク カイセキ ニ カンスル ケントウ
• Self-consistent analysis of microwave and plasma in microwave excited of surface-wave plasma semiconductor processing
• マイクロ波
• マイクロハ

Journal

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 109 (158), 111-114, 2009-07

  東京 : 電子情報通信学会

Keywords

• FDTD法
• 表面波プラズマ
• 半導体処理装置
• マイクロ波
• 自己無撞着解析
• FDTD
• surface-wave plasma
• semi-conductor processing equipment
• microwave
• self-consistent analysis

Details

• CRID: 1520290882054707456
• NII Article ID: 110007363362
• NII Article ID: 10026373585
• NII Book ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL BIB ID: 10307348
• NDL BIB ID: 10309134
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/10307348
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10307348
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/10309134
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10309134
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN