D-8 銅薄膜の異方性弾性と内部組織(計測法)

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書誌事項

タイトル別名
  • D-8 Anisotropic Elastic Properties and Microstructure of Copper Thin Film

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390845713024096768
  • NII論文ID
    110007458261
  • DOI
    10.24492/use.24.0_357
  • ISSN
    24331910
    13488236
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles

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