P2-17 半導体/圧電体結合素子のX線回折によるトポグラフィック評価(ポスターセッション2,ポスター発表)

• 中島 勉

  神奈川工科大学工学部

• 宮台 賢一郎

  神奈川工科大学工学部

• 兼城 千波

  神奈川工科大学工学部

• 青木 裕介

  ハイテクリサーチセンター

• 黄 啓新

  神奈川工科大学工学部:ハイテクリサーチセンター

• 宝川 幸司

  神奈川工科大学工学部:ハイテクリサーチセンター

書誌事項

タイトル別名

• P2-17 X-ray analysis of SAW-semiconductor coupled devices

収録刊行物

• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集

  超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集 22 (0), 205-206, 2001-11-07

  特定非営利活動法人 超音波エレクトロニクス協会

詳細情報

• CRID: 1390001288093606400
• NII論文ID: 110007464250
• DOI: 10.24492/iuse.22.0_205
• ISSN: 24331414
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles