LIGAライクプロセスを用いた微小感熱素子の作製

• 堀川 教世

• 春山 義夫

• 島 聡史

Bibliographic Information

Other Title

• LIGA ライクプロセス オ モチイタ ビショウ カンネツ ソシ ノ サクセイ
• Fabrication of micro thermal device using LIGA like process

Journal

• 富山県立大学紀要 = Bulletin of Toyama Prefectural University / 富山県立大学 編

  富山県立大学紀要 = Bulletin of Toyama Prefectural University / 富山県立大学 編 19 24-29, 2009-03

  射水 : 富山県立大学

Keywords

• LIGAライクプロセス
• 感熱素子
• フォトリソグラフィー
• LIGA like process
• micro thermal device
• photolithography

Details

• CRID: 1520009408390648576
• NII Article ID: 110007479468
• NII Book ID: AN10358595
• ISSN: 09167633
• NDL BIB ID: 10257670
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10257670
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZV1(一般学術誌--一般学術誌・大学紀要)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles