二層ニッケル電鋳法による高硬度マイクロ金型の作製(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)

• 佐和 吉敬

  佐和鍍金工業(株)

• 山下 健治

  (株)ナノクリエート

• 北谷 武

  佐和鍍金工業(株)

• 服部 正

  兵庫県立大学高度産業科学技術研究所

書誌事項

タイトル別名

• Fabrication of High Hardness Micro Metal Mold by Double Layer Nickel Electroforming(Machine Elements, Design and Manufacturing)
• 二層ニッケル電鋳法による高硬度マイクロ金型の作製
• ニソウ ニッケル デンチュウホウ ニ ヨル コウコウド マイクロ カナガタ ノ サクセイ

抄録

Nickel electroforming is used as a fabrication technology of micro metal mold including LIGA process. However, neither the strength nor peelability of electroformed nickel is enough. There are several methods that is alloying or using additive composition of electroplating bath to improve strength of the nickel mold. In this research, we improved the hardness of the nickel mold by electroforming. We used sodium allylsulfonate as an additive for hard nickel electroplating. The hardness was approximately 600Hv and kept the property after annealing of temperature 250℃. The abrasion resistance was approximately 41 WR after annealing of temperature 250℃. Finally, we fabricated double layer nickel mold has micro pattern and the thickness of 4mm.

収録刊行物

• 日本機械学会論文集Ｃ編

  日本機械学会論文集Ｃ編 75 (759), 3076-3081, 2009

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• Nano & Micro Machining
• MEMS
• LIGA
• Metal Mold
• Surface Improvement
• Abrasion Resistance

詳細情報

• CRID: 1390001206386947456
• NII論文ID: 110007482779
• NII書誌ID: AN00187463
• DOI: 10.1299/kikaic.75.3076
• ISSN: 18848354
• ISSN: 03875024
• NDL書誌ID: 10505003
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10505003
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/kikaic1979/75/759/75_KJ00005879362/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可