1506 ピコ秒レーザー超音波法によるエピタキシャルPt薄膜の弾性定数測定(S10-2 非破壊評価とモニタリングII,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)

• 加計 陽介

  阪大

• 多根井 寛志

  阪大

• 中村 暢伴

  阪大

• 荻 博次

  阪大

• 平尾 雅彦

  阪大

書誌事項

タイトル別名

• 1506 Measurement of the elastic constant of epitaxial Pt ultrathin films using picosecond-laser ultrasounds

抄録

We studied the elastic constant of the epitaxial Pt ultrathin films deposited using RF magnetron sputtering on MgO(001) monocrystal substrates heated at 500℃. We measured the film thickness by the X-ray reflectivity technique (XRR), and determined the normal elastic constant C_<33> of the films by the picosecond-laser ultrasounds (PSLU). The elastic constant depends on the film thickness, and the value of 20 nm films is larger than that of 90 nm by 50 %. The normal strain determined by X-ray diffraction(XRD) measurement is less than 0.1 %, which fails to explaine the elastic behavoir. Thus, we observed extraordinary increase of the elastic constant of epitaxial ultrathin Pt films.

収録刊行物

• 年次大会講演論文集

  年次大会講演論文集 2008.1 (0), 325-326, 2008

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• epitaxial thin films
• picosecond-laser ultrasounds
• elastic constant

詳細情報

• CRID: 1390001206064529152
• NII論文ID: 110007658557
• DOI: 10.1299/jsmemecjo.2008.1.0_325
• ISSN: 24331325
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmemecjo/2008.1/0/2008.1_325/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可