728 金属薄膜の成膜直後における弾性定数の高速回復現象のモニタリング(GS-3 弾性)

• 中島 丈雄

  阪大

• 中村 暢伴

  阪大

• 荻 博次

  阪大

• 平尾 雅彦

  阪大

• 西山 雅祥

  阪大

書誌事項

タイトル別名

• 728 Monitoring of fast recovery of elastic constant in metallic thin films after deposition

収録刊行物

• 関西支部講演会講演論文集

  関西支部講演会講演論文集 2008.83 (0), _7-28_-, 2008

  一般社団法人 日本機械学会

詳細情報

• CRID: 1390001205847969408
• NII論文ID: 110007709613
• DOI: 10.1299/jsmekansai.2008.83._7-28_
• ISSN: 24242756
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmekansai/2008.83/0/2008.83__7-28_/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles