M5-2 シリコンエレクトレットコンデンサマイクロホンの実現に向けた無機エレクトレット膜および着電技術の開発(M5 アクチュエータ/フィジカルセンサ)

• 井口 義則

  (財)NHKエンジニアリングサービス

• 萩原 啓

  NHK放送技術研究所

• 後藤 正英

  NHK放送技術研究所

• 安野 功修

  (財)小林理学研究所

• 児玉 秀和

  (財)小林理学研究所

• 樹所 賢一

  リオン(株)

• 田島 利文

  NHK放送技術研究所

書誌事項

タイトル別名

• M5-2 Development of inorganic electret film and charging method for silicon electret condenser microphone (M5 Actuator and Physical Sensor)

抄録

Towards low-voltage and high-performance subminiature microphone, we are studying silicon electret condenser microphone. Recently, we developed a novel charging method for electret films using soft X-ray irradiation. In this paper, the principle of the charging method and the surface potential of a charged inorganic electret film are reported.

収録刊行物

• マイクロ・ナノ工学シンポジウム

  マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2009.1 (0), 85-86, 2009

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• Electret
• Microphone
• MEMS
• Soft X-ray

詳細情報

• CRID: 1390001205901624064
• NII論文ID: 110008065170
• DOI: 10.1299/jsmemnm.2009.1.85
• ISSN: 24329495
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmemnm/2009.1/0/2009.1_85/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可