高分解能磁気力顕微鏡観察による高密度磁気記録媒体の記録磁化安定性の検討 High-Resolution Magnetic Force Microscopy Study of Recorded Magnetization Stability of High-Density Magnetic Recording Media

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抄録

3d強磁性膜(Co,Fe,Ni)を市販の原子間力顕微鏡探針に被覆することによってMFM探針を作製し,MFM空間分解能に及ぼす材料の影響を調べた.高分解能SEM観察により,MFM探針の探針先端半径を測定した.磁性膜の被覆膜厚増加に伴って探針先端の磁性膜体積が増加し,MFM検出感度は向上したが,探針先端半径の増加によりMFM観察分解能は減少した.いずれの磁性材料においても同様の傾向が認められた.20nm厚のCo膜被覆探針を用いることにより,10nmレベルの空間分解能を得ることができた.作製した高分解能探針を用いて,垂直磁気記録媒体の記録磁化状態安定性およびパターンド媒体の磁化反転特性の高分解能MFM観察を行った.

MFM tips were prepared by coating commercial AFM Si tips with films of 3d ferromagnetic metals (Co, Fe, Ni) varying the thickness in a range of 10-80nm. With increasing the film thickness, the MFM tip radius, observed by high-resolution SEM, increased. In this care, the MFM intensity increased due to increase of magnetic volume while the resolution decreased. Similar tendency of resolution variation on film thickness was observed for all the 3d ferromagnetic metal coated tips. A resolution around 10nm is obtained with a tip coated with 20-nm-thick Co film. The high-resolution MFM tips were applied for the investigations of recorded magnetization stability in perpendicular media and switching field distribution measurement of patterned media.

収録刊行物

  • 電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録

    電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録 110(225), 11-18, 2010-10-07

    一般社団法人電子情報通信学会

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    110008106267
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10013050
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09135685
  • NDL 記事登録ID
    10882374
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-940
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  NII-ELS 
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