1Pa-1 Si誘電率の強い波長依存性を利用したピコ秒超音波による酸化物薄膜の減衰評価(ポスターセッション)

• 森田 啓

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 荻 博次

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 中村 暢伴

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 平尾 雅彦

  大阪大学大学院基礎工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• 1Pa-1 Evaluation of Ultrasonic Attenuation in Oxide Thin Films by Brillouin Oscillation Using Strong Wavelength Dependence of Refractive Index in Si(Poster Session)

収録刊行物

• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集

  超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集 31 (0), 17-18, 2010-12-06

  特定非営利活動法人 超音波エレクトロニクス協会

詳細情報

• CRID: 1390282763068772608
• NII論文ID: 110008149762
• DOI: 10.24492/use.31.0_17
• ISSN: 24331910
• ISSN: 13488236
• 本文言語コード: en
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles