5.大規模マイクロ波ラインプラズマの開発(<小特集>実用化プロセスにおけるプラズマ源の革新～平行平板プラズマ源から新プラズマ源へ～)

• 進藤 春雄

書誌事項

タイトル別名

• 大規模マイクロ波ラインプラズマの開発
• ダイキボ マイクロハ ラインプラズマ ノ カイハツ
• 5. Large-Scaled Line Plasma Production by Microwave in Narrowed Waveguide(<Special Topic Article>Innovation of Plasma Sources for Practical Processings -From Parallel Plate Plasma Source to New Plasma Sources-)
• 大規模マイクロ波ラインプラズマの開発
• Large-scaled line plasma production by microwave in narrowed waveguide
• 小特集 実用化プロセスにおけるプラズマ源の革新--平行平板プラズマ源から新プラズマ源へ
• ショウトクシュウ ジツヨウカ プロセス ニ オケル プラズマ ゲン ノ カクシン ヘイコウ ヘイバン プラズマ ゲン カラ シン プラズマ ゲン エ

抄録

コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会

収録刊行物

• プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編

  プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編 87 (1), 18-23, 2011-01

  名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会

キーワード

• large area plasma
• microwave line plasma
• large area plasma process
• solar cell film CVD
• FPD process

詳細情報

• CRID: 1520290883611062272
• NII論文ID: 110008441038
• NII書誌ID: AN10401672
• ISSN: 09187928
• NDL書誌ID: 10986548
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10986548
• Web Site: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10458020
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• データソース種別:
  • NDL
  • NDL-Digital
  • CiNii Articles
  • KAKEN