ナノスケール計測におけるロバストネス : 走査型プローブ顕微鏡の新技術(<特集>ロバストネスを探る)

• 阿部 真之

  大阪大学大学院工学研究科

• 杉本 宜昭

  大阪大学大学院工学研究科

• 森田 清三

  大阪大学大学院工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Robustness in Nano-Scale Measurement : New Techniques for Scanning Probe Microscopy(<Special Issue>Understanding the Robustness)
• ナノスケール計測におけるロバストネス--走査型プローブ顕微鏡の新技術
• ナノスケール ケイソク ニ オケル ロバストネス ソウサガタ プローブ ケンビキョウ ノ シンギジュツ

収録刊行物

• システム／制御／情報

  システム／制御／情報 55 (4), 141-146, 2011

  一般社団法人 システム制御情報学会

キーワード

• scanning probe microscopy
• non-contact atomic force microscopy
• frequency modulation atomic force microscopy
• thermal drift
• atom tracking

詳細情報

• CRID: 1390001204304485504
• NII論文ID: 110008608073
• NII書誌ID: AN10062329
• DOI: 10.11509/isciesci.55.4_141
• ISSN: 24241806
• ISSN: 09161600
• NDL書誌ID: 11037723
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I11037723
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles